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Clean Room의 규격
관리자 2006-12-29 7125

Clean Room의 규격(Standard of Clean Room)
우리가 일반적으로 많이 쓰는 Clean Room의 청정도 Class 100 이나 10,000등의 기준은 무엇인가?
또한, 그 수치가 나타내는 청정도의 수준은 어느 정도 인가?
우리나라가 근래 10여년간 IT산업이 급속도로 발전하며서 Clean Room이나 장비의 보급이
확산되었음에도 불구하고 현장에서는 아직까지 Clean Room의 청정도의 이해가 부족한
경우를 종종 볼수가 있어서, 누구나 쉽게 이해할 수 있도록 쉽게 정리해 보고자 한다.

우선 우리가 감지할 수 있는 주변의 청정도를 알아보자
(표1)

 

1. 규격의 유래
근래에 Clean Room의 규격은 국가별 분야별로 다양해 졌지만 최초의 규격은 미국에서
제정된 미연방규격 209(The Federal Standard 209)이다
그 규격은 1993년에 개정된 Fed.Std.209E가 마지막으로 이규격은 2001년도에 폐지되었다
우리가 일반적으로 쓰는 규격이 이 규격이다.

▶ Federal Standard 209E
(표2)

 

(표2)에서 적색으로 표기한 숫자가 우리가 통용하는 Class 100이나 Class 10,000등을 나타내는 청정도이다.
아래 그림과 같이 1ft(가로) x 1ft(세로) x 1ft(높이)의 부피 즉 1ft 체적내의 0.5㎛이상 입자수를 기준으로 청정도의 Lavel이 분류되는 것이다.

< 그림 >

2. ISO(국제 표준화 규격)
Clean Room에 관한 각국의 기준을 제정함에 따라 국제적으로 표준화된 규격의 필요성이 제기되었다.
1999년 5월에 국제 표준화 기구에 의해 ISO-14644┏ Clean Room 및 Clean-Zone의 미립자- 청정도의 Class 분류┛가 발표되고
이것에 의해 세계최초로 통일규격이 제정되었다.

▶ ISO-14644
(표3)

 

2. ISO(국제 표준화 규격)
▶ ISO-14644-1과 각국의 청정도 Class 비교
(표4)

 

3. NASA(미 항공 우주국)규격
▶ ISO-14644-1과 각국의 청정도 Class 비교
(표5)

 

4. WHO(세계보건기구)의 GMP규격
▶ ISO-14644-1과 각국의 청정도 Class 비교
(표6)

 

 

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