Å©¸°·ëÀ̳ª Å©¸°Àåºñ¿¡ ºÎÂøµÇ¾î Å©¸°·ëÀ̳ª ÀåºñÀÇ MaintenanceÀÇ Áß¿äÇÑ ±â´ÉÀ» ÇÏ´Â Â÷¾Ð°è¿¡ ´ëÇؼ ¾Ë¾Æº¾´Ï´Ù.
1. Â÷¾Ð°è¶õ ¹«¾ùÀΰ¡ Â÷¾Ð°è (Differential Pressure Gauge)¶õ 2°³¼ÒÀÇ ¾Ð·ÂÂ÷¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ´Â ÀåÄ¡ÀÌ´Ù.
2. Å©¸°·ëÀ̳ª Å©¸°Àåºñ¿¡¼ ÁÖ·Î »ç¿ëµÇ´Â Â÷¾Ð°èÀÇ Á¾·ù¿Í Ư¡Àº ¾Æ·¡¿Í °°´Ù.
¹æ½Ä |
¾Æ³¯·Î±× ¹æ½Ä |
µðÁöÅÐ ¹æ½Ä |
¾×»ó ´«±Ý ½Ä |
¹Ù´Ã ´«±Ý ½Ä |
Çü»ó |
|
|
|
Ư¡ |
1.Á¤È®ÇÑ ÃøÁ¤°ªÀ» ¾òÀ» ¼ö ¾ø´Ù.(¡¾3% À̳»)
2.ÃøÁ¤¹üÀ§°¡ Á¦ÇÑÀûÀÌ´Ù. (°èÃø±âÀÇ Ç¥½ÃµÈ ´«±ÝÀÌ ¹üÀ§)
3.³·Àº ÃøÁ¤°ª¿¡¼ Á¤È®µµ°¡ ÇöÀúÈ÷ ¶³¾îÁø´Ù.
4.Àåºñ°¡µ¿ Ãʱ⳪ Filter ±³Ã¼½Ã ¿µÁ¡ Á¶Á¤ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.
5.Control°ú ºÐ¸®¼³Ä¡ µÈ´Ù.
6.À°¾ÈÀ¸·Î ½Äº°ÀÌ ¿ëÀÌÇÏ´Ù. |
1.Ź¿ùÇÑ ÃøÁ¤µµ (0.1% Full scale near zero)¿Í Á¤È®ÇÑ ¼öÄ¡¸¦ È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
2.ÃøÁ¤ ¹üÀ§°¡ ¾Æ³¯·Î±×º¸´Ù ³Ð´Ù.
3.¸Å¿ì ³·Àº Â÷¾Ð¿¡¼µµ ³ôÀº Á¤¹Ðµµ(<0.25pa)¸¦ À¯ÁöÇÑ´Ù.
4.¿µÁ¡ Á¶Á¤ÀÌ ÇÊ¿ä ¾ø°í ÀÀ´ä ½Ã°£ÀÌ ºü¸£´Ù.
5.Control°ú ¿¬°èÇÏ¿© AlarmµîÀÇ Á¦¾î ±â´ÉÀÌ °¡´É |
ºñ°í |
•°³º°ÀûÀ¸·Î ÃëºÎ ÇÏ¿© »ç¿ë |
•Control unit¿Í ¿¬°èµÇ´Â Program°ú Unit¸¦ °³¹ßÇØ¾ß »ç¿ëÀÌ °¡´ÉÇϹǷΠÃʱ⠰³¹ßºñ°¡ ¼Ò¿äµÇ°í ¾Æ³¯·Î±× ¹æ½Ä ´ëºñ ºÎÇ° °¡°ÝÀÌ ³ô´Ù. |
3. Â÷¾Ð°èÀÇ ¿ªÇÒ Å©¸°·ëÀ̳ª Å©¸°Àåºñ¿¡¼ Â÷¾Ð°èÀÇ ÁÖ¿ä±â´ÉÀº ûÁ¤µµ¸¦ À¯ÁöÇϴµ¥ °¡Àå Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» ÇÏ´Â Hepa-filterÀÇ °¡µ¿»óÅ ȮÀÎÀÌ´Ù. Particle counter³ª dz¼Ó°è µîÀÇ °èÃø Àåºñ°¡ ÀÖÀ¸¸é ÃøÁ¤À» ÅëÇؼ »óŸ¦ ¾ðÁ¦µçÁö È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖÁö¸¸ ´ëºÎºÐÀÇ »ç¿ëÀÚµéÀº ÀÌ·± Àåºñ°¡ ¾øÀ¸¹Ç·Î Â÷¾Ð°è¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© FilterÀÇ ÇöÀç »óųª ±³È¯ ½Ã±â¸¦ ÆÇ´ÜÇÒ ¼ö¹Û¿¡ ¾ø´Ù.
Â÷¾Ð°èÀÇ ±âº» ¿ø¸®´Â Hepa-FilterÀÇ Åë°ú Àü°ú Åë°ú ÈÄÀÇ ¾Ð·Â Â÷¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ¿© ³ªÅ¸³»´Â °ÍÀ¸·Î Hepa-Filter¿¡ ÀÇÇØ ParticleÀÌ Á¦°ÅµÇ¸é¼ ´©ÀûµÇ¾î FilterÀÇ ¼º´ÉÀÌ ÀúÇϵǰí ÀÌ ¶§¹®¿¡ °ø±âÅë°ú ·®ÀÌ ÁÙ¾îµé¸é¼ ¾Ð·ÂÂ÷°¡ Ä¿Áö°Ô µÈ´Ù.
Å©¸°·ëÀ̳ª Å©¸°Àåºñ¸¦ óÀ½ ¼³Ä¡ ÈÄ ÃøÁ¤À» ÅëÇØ Ã»Á¤µµ È®ÀÎÀ» ÇÏ°í ³ª¸é »ç¿ëÀÚµéÀÇ ÁÖ¿ä °ü½É»ç´Â ÀÌ Ã»Á¤µµ°¡ Ç×»ó À¯ÁöµÇ´ÂÁö, ¶Ç ¾ó¸¶ ÈÄ¿¡ Filter¸¦ ±³È¯ÇØ¾ß µÇ´ÂÁö ÀÌ´Ù. ÇÏÁö¸¸ ÀÌ Áú¹®¿¡ ´ëÇÑ ´äº¯Àº Á¤È®ÇÏ°Ô ÇØ ÁÙ ¼ö°¡ ¾ø´Ù. ¿Ö³ÄÇϸé ÀåºñÀÇ »ç¿ëÁ¶°Ç, »ç¿ë½Ã°£¿¡ µû¶ó FilterÀÇ ¼ö¸íÀÌ °áÁ¤µÇ±â ¶§¹®ÀÌ´Ù. ¿¹¸¦ µé¾î Clean bench³ª Clean booth¸¦ Clean room ³»ºÎ¿¡¼ »ç¿ëÇÒ ¶§¿Í ÀÏ¹Ý room¿¡¼ »ç¿ëÇÏ´Â °æ¿ì¸¦ ºñ±³ÇØ º¸¸é
µ¿ÀÏÇÑ ½Ã°£À» »ç¿ëÇصµ Å©¸°·ë¿¡¼ »ç¿ëÇÏ´Â Filter´Â ÀÏ¹Ý room¿¡¼´Â 2¹ø ÀÌ»ó Filter¸¦ ±³È¯À» Çصµ ¾ÆÁ÷ ±³È¯ ÁֱⰡ µÇÁö ¾ÊÀº ä ¼º´ÉÀ» À¯ÁöÇÒ ¼ö Àֱ⵵ ÇÑ´Ù. ±×¸¸Å Hepa-Filter¿¡ ´©ÀûµÇ´Â Particle¾çÀÌ Àû±â ¶§¹®¿¡ FilterÀÇ ¼ö¸íÀÌ ¿À·¡ °¥ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀϹÝÀûÀ¸·Î Clean booth³ª Clean benchÀÇ °æ¿ì (ÇÏ·ç 8½Ã°£ »ç¿ë±âÁØ) ÀϹݷ뿡¼ »ç¿ëÇÒ °æ¿ì ¾à 1³â~2³â Á¤µµ, 10000 class zone¿¡¼ »ç¿ëÇÒ °æ¿ì ¾à 3³â Á¤µµ¸¦ Hepa-filter ±³È¯ ÁÖ±â·Î º¸¸é µÇ´Âµ¥ »ç¿ëÇÏ´Â ÇöÀåÀÇ ¿À¿°µµ¿¡ µû¶ó º¯¼öµµ ¸¹°í, Pre-filter °ü¸® µî °ü¸® »óÅ¿¡ µû¶ó ¼ö¸íÀÌ ´Ù¸£°Ô µÇ¹Ç·Î Â÷¾Ð°è¸¦ Á¤±âÀûÀ¸·Î È®ÀÎÇÏ°í ±â·ÏÇÏ¸é º¸´Ù È¿À²ÀûÀ¸·Î ¼³ºñ¸¦ °ü¸®ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. »ç½Ç»ó ÀÌ·± Â÷¾Ð°èÀÇ ±â´ÉÀ» ÀüÁ¦·Î ÇÒ ¶§ °ü¸®¸¸ öÀúÈ÷ ÇÑ´Ù¸é ¾Æ³¯·Î±×½Ä Â÷¾Ð°è·Îµµ Å©¸°·ëÀ̳ª Å©¸°ÀåºñÀÇ À¯Áöº¸¼ö¿¡´Â Å« ºÒÆí ¾øÀÌ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
4. ´ç»ç°¡ Digital Â÷¾Ð°è¸¦ Àû¿ëÇÏ°Ô µÈ µ¿±â ±×·±µ¥ ¹®Á¦´Â ÀûÁö ¾ÊÀº »ç¿ëÀÚµéÀÌ ÀÌ Â÷¾Ð°è¸¦ Á¦´ë·Î È°¿ëÇÏÁö ¸øÇÏ´Â µ¥¿¡¼ ¹ß»ýÇß´Ù. ´ë±â¾÷À̳ª ¼³ºñ°ü¸®ºÎ¼°¡ Á¦´ë·Î ¿î¿ëµÇ´Â ȸ»ç¿¡¼´Â ¾Æ³¯·Î±×½Ä Â÷¾Ð°è¸¦ Å« ¹®Á¦¾øÀÌ ÀåºñÀÇ °ü¸®µµ±¸·Î È°¿ëÇÏ°í ÀÖÁö¸¸ Áß¼Ò±â¾÷ÀÇ °æ¿ì ±×·¸Áö ¾ÊÀº °æ¿ì°¡ ¸¹´Ù. Â÷¾Ð°èÀÇ CleanÀåºñ ³³Ç° ½Ã, Â÷¾Ð°èÀÇ ±â´ÉÀ» ¼³¸íÇØ ÁÖ°í »ç¿ëÀÚ Manual¿¡ »ç¿ë¹ýÀ» ±â·ÏÇÏ¿© Àü´ÞÇßÁö¸¸ FilterÀÇ ±³È¯ ÁֱⰡ ªÀº ±â°£ÀÌ ¾Æ´Ï°í ÃÖ¼Ò 1³â ÀÌ»óÀÌ µÇ´Ï ´ëºÎºÐÀÇ ¾÷üµéÀÌ Â÷¾Ð°è¸¦ Å©°Ô ´« ¿©°Ü º¸Áö ¾Ê°Ô µÇ´Â °ÍÀ» ¾Ë¾Ò´Ù. ±×¸®°í °£È¤ ÀåºñÀÇ ¼º´ÉÀÌ ¸¹ÀÌ ÀúÇÏµÈ °Å °°´Ùµç°¡ °íÀåÀÌ ³ °Å °°´Ùµç°¡ µîÀÇ ¿¬¶ôÀÌ ¿Í¼ È®ÀÎÇØ º¸¸é FilterÀÇ ±³È¯ ÁֱⰡ ÈξÀ Áö³µ´Âµ¥µµ ¹«½ÃÇÏ°í ±×³É ¾²´Ù°¡ Â÷¾Ð°è È®Àεµ ÇÏÁö ¾Ê°í Àüȸ¦ ÇÏ´Â °æ¿ì°¡ Á¾Á¾ ¹ß»ýÇÑ´Ù.
<Digital Â÷¾Ð°èÀÇ Block Diagram>
±×·¯³ª ÀÌ´Â »ç¿ëÀÚ Å¿¸¸ ÇÒ ¼ö ¾ø´Â °Ô, Áß¼Ò±â¾÷ÀÇ °æ¿ì °ü¸®ÀÚ°¡ ÀÚÁÖ ¹Ù²î°í »ý»ê°ü¸®ÀÚ³ª ¼³ºñ Ã¥ÀÓÀÚµéÀÌ ¹Ù»Ú°í
½Å°æ ¾µ ÀÏÀÌ ¸¹Àºµ¥ Filter¸¦ Á¤±âÀûÀ¸·Î È®ÀÎ‧±â·ÏÇÏ°í 1-2³â ÈÄ¿¡ ÇÑ ¹ø ¹ß»ýÇÒ Filter ±³È¯ ½Ã±â±îÁö ì±âÁö ¸øÇÏ´Â °ÍÀº
¾î¿ ¼ö ¾ø´Â Çö½ÇÀ̱⠶§¹®ÀÌ´Ù. ±×·¡¼ ¾ÆÀ̵ð¾î¸¦ ³½ °ÍÀÌ Filter¸¦ ±³È¯ÇÒ ½Ã±â°¡ µÇ¸é AlarmÀ» ¿ï¸®°Ô ÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù.
ÇÏÁö¸¸ ¾Æ³¯·Î±× ¹æ½ÄÀ¸·Î ¾Æ¹«¸® ¸Ó¸®¸¦ Áã¾îÂ¥µµ ¹æ¹ýÀÌ ¾ø¾ú´Ù. ±×·¯´ø Áß ¾Ë¶÷ ±â´ÉÀÌ ÀÖ´Â Potable µðÁöÅÐ Â÷¾Ð ÃøÁ¤±â¿¡¼ Âø¾ÈÇÏ¿© Digital Â÷¾Ð°è¸¦ ³»ÀåÇÏ°í ±³È¯ Áֱ⿡ À̸£¸é AlarmÀº ¹°·Ð,
Â÷¾Ð ¼öÄ¡¸¦ ½Ç½Ã°£À¸·Î È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Controller¸¦ ±¹³» ÃÖÃÊ·Î °³¹ßÇÏ¿© 2009³â Ãâ°í ºÐºÎÅÍ Digital Â÷¾Ð°è¸¦ ºÎÂøÇÏ°Ô µÇ¾ú´Ù.
¿ì¸® Àåºñ¿¡ ºÎÂøµÈ Digital Â÷¾Ð°è°¡ ¿©·¯ °¡Áö ÆíÀǼºÀ» Á¦°øÇÏÁö¸¸ Å©¸°Àåºñ¿¡ ²À ºÎÂøÇØ¾ß ÇÒ Çʼö ¼º´ÉÀ̶ó°í º¸Áö´Â ¾Ê´Â´Ù. ¾Õ¼ ¾ð±ÞÇÑ ¹Ù¿Í °°ÀÌ Å¸ ¾÷ü¿¡ ºÎÂøµÈ ¾Æ³¯·Î±× Â÷¾Ð°èµµ Áö¼ÓÀûÀÎ °üÂû°ú °ü¸®¸¸ ÀßÇϸé Àåºñ¸¦ »ç¿ëÇÏ´Â µ¥
Å« ¹®Á¦°¡ ¾ø±â ¶§¹®ÀÌ´Ù.
ÇÏÁö¸¸ ¾ó¸¶ Àü¿¡ ÇÑ ¾÷üÀÇ È¨ÆäÀÌÁö¿¡¼ ¾Æ·¡¿Í °°Àº Å͹«´Ï¾ø´Â ³»¿ëÀ» º¸¾Ò´Ù.
ÇѸ¶µð·Î ¿ô±âÁöµµ ¾Ê´Â ¼Ò¸®´Ù. ¼¼»ó¿¡ ¸ðµç Àåºñ³ª ½Ã½ºÅÛµéÀÌ Digital ±¸Á¶·Î ÀüȯµÇ´Â ½Ã´ë¿¡ »ì¸é¼ ¾î¶»°Ô ÀÌ·± ¾Æ³¯·Î±×½º·¯¿î ³»¿ëÀ» ¿Ã·Á³ù´ÂÁö ¸ð¸£°Ú´Ù. 2009³âµµ Ãâ½Ã ÀÌÈÄ ¼ö¹é ´ë¿¡ ºÎÂøµÇ¾î Ãâ½ÃµÈ ÀÌ·¡ ÇÑ °ÇÀÇ °íÀåµµ ¹ß»ýÇÏÁö ¾Ê¾Ò°í, ±Ùº»ÀûÀ¸·Î °íÀåÀ̶õ °Ô ³ªÁö ¾Ê´Â systemÀε¥
ÀÚ»çÀÇ ±â¼ú ¼öÁØÀÌ ¾ÆÁ÷ À̸£Áö ¸øÇÑ ¿µ¿ª¿¡ ´ëÇؼ ¼º´ÉÀ̳ª ±¸Á¶µµ Á¦´ë·Î ¸ð¸£¸é¼ ÀÌ·± ½ºÆÔ °°Àº ¹®±¸¸¦ ¿Ã·Á³öµµ µÇ´ÂÁö
¹ý·ü °ËÅ並 ÇغÁ¾ß°Ú´Ù´Â »ý°¢ÀÌ µé¾ú´Ù. ÀÌ ³»¿ëÀ» ½ºÅ©·¦ ÇØ ³ù´Ù°¡ ³ªÁß¿¡ ÀÌ ¾÷ü°¡ ¿ì¸® Digital Â÷¾Ð°è¸¦ ¸ð¹æÇÏ¿© Á¦Ç°¿¡ Àû¿ëÇÑ´Ù¸é ¾î¶² ¸»Àå³À» ÇÒÁö È®ÀÎÇØ ºÁ¾ß°Ú´Ù.
Âü°í·Î ÀÌ ¾÷ü´Â ¿À·¡ ÀüºÎÅÍ ¿ì¸®¿¡°Ô¼ ¹°°ÇÀ» ¹Þ¾Æ¾²´Ù°¡ ¿ì¸® Á¦Ç°À» ¿½ÉÈ÷(?) º¥Ä¡¸¶Å·ÇÏ´Â ¾÷üÀ̱⵵ ÇÏ°í (½ÉÁö¾î ö»ç Pin±îÁöµµ) 2¹øÀ̳ª ƯÇã ħÇØ ¼Ò¼Û¿¡ °É¸° ¾÷üÀ̱⵵ ÇÏ´Ù. ( ±× °úÁ¤Àº °ð ºñÇÏÀÎµå ½ºÅ丮¿¡ ¿Ã¸± ¿¹Á¤ ) ÇÑ °¡Áö ÇѽÉÇϱâ ¦ÀÌ ¾ø´Â °ÍÀº ¿ø·¡ ¸ð¹æÀ» Çϸé Originalº¸´Ù ³´°Ô ¸¸µå´Â °Ô ÀϹÝÀûÀε¥ ºñ±³Çغ¸¸é ¼öÁØÀÌ ¹ÌÄ¡Áö ¸øÇÏ´Â °ÍÀÌ ´ëºÎºÐÀÌ´Ù. ±×°Ô ±× ¾÷üÀÇ ÇÑ°èÀÎÁö ¸ð¸£°ÚÁö¸¸¡¦¡¦.
|